Lam RESEARCH(柯林研制)由美国香港人David Lam于1984年创建。Lam 能够理解为大陆林姓衍生出来的公司。(林在闽南语即为Lam的意思,Lam源于华人)
其时业界正处于2inch的机台到3inch的过渡阶段,各家公司也在全力研讨64k的dram,要打破64k的制程需求先进的等离子蚀刻来进行,而半导体业界专心于半导体设备的公司不多,因此为David Lam 发明了极佳的时机。
其时美国国会也刚好经过了下降本钱税的法条,让美国风险投资工业热络起来,凭着Lam多年在半导体界的出售和管理经验,Lam的等离子蚀刻计量很快就吸引到800,000美元风险投资的融资。
Lam的等离子蚀刻专心于污染操控和可再生环境和自动化设备,Lam以多晶矽作为主体事务,推出公司第一台产品AutoEtch 480,Lam取得了极大的成功,并于1984年在纳斯达克上市,代号LRCX。
1985年David Lam出售价值2000万美元的股票脱离了公司,Lam在david脱离后经过专心于技能立异、全球扩张、商场定位和客户服务,在半导体界站稳了脚步,而且也扩展产品开端踏入成果设备范畴。
自1980年代起,日本半导体技能和商场日新月异,日本商场和美国商场简直各占半导体商场的一半比例,Lam也开端和日本公司协作。
在1987年也跟在日本住友金属工业株式会社建立了协作伙伴关系,加强联合研讨和出售自己公司产品,Rainbow 4400刻蚀方面的技能和产品。
自1980年代晚期,台湾晶圆代和韩国dram工业开端开展,Lam也进军日本以外的亚洲商场,并在欧洲、美国和日本开设客户援助中心。
在1990年Lam的公司营收达到了1.44亿美元,其间44%来自海外商场。
在90年代美国半导体工业复苏,亚洲台湾韩国半导体工业蓬勃开展,职工增加到1500人工厂扩展到原先的10倍。
Lam在1990年推出integrity CVD体系,能够将多个制造过程集成到一个过程中,从而减少了出产时刻和本钱,该产品取得美国研制杂志的最佳奖项,也在1992年推出首款专利变压器耦合等离子(TCP)技能的产品TCP 9400多晶矽蚀刻体系。
这个体系选用了先进的等离子蚀刻技能,有望完成更高的出产功率、晶片质量和晶片均匀性,这一些产品让Lam在1993年的出售额增长了55%达到了惊人的2.65亿美元,净利润达1900万美元,公司也坐稳蚀刻设备商霸主,成为四大半导体设备商之一。
Lam在进入亚洲商场后,于1997年发生了亚洲金融风暴,半导体商场又开端萎缩,不过Lam仍没有抛弃,Lam在1997年并购一家从事化学机械平整化(CMP)清洁的设备商OnTrak Systems Inc并以cmp和蚀刻从头作为主力开展。
自2000年代开端,Lam又再次开端开展堆积设备,推出VECTOR PECVD能制造介电层薄膜堆积制程,能让介电层薄膜十分滑润且无缺点,能以较低的本钱供给与新体系相同的质量确保与效能。
Lam经过收买Novellus Systems这家以立异薄膜堆积和外表处理出产线为事务的设备商,Lam将具有更多优势来援助半导体工业的关键技能转化,包含先进逻辑和NAND回忆股的3D架构,以及450毫米(mm)晶圆的微缩技能。
Lam也活跃与asml协作,现在先进制程euv是不可或缺的机台,但euv在曝光时,会有些叠对效应形成边际放置差错等问题。
Lam使用开发微影、蚀刻和堆积的协同最佳化技能去与asml协作硬式罩幕堆积制程,能把随机效应形成的部分放置差错降至最低。
到现在,在超越1亿片选用多重曝光技能(multi- patterning)的晶圆中,有95%是以Lam的设备来制造的,Lam的制造营收,海外营收超越90%,2021Q2财报多个方面数据显现以我国的35%居首位,台湾则以17%排名第三,亚洲国家就占了总出售的93%,显现出亚洲半导体商场仍为Lam的营收主力。
最终,泛林集团(Lam Research)是一家半导体设备供货商,将支撑全球数字化转型。此外,该公司在向股东返还自在现金方面有着杰出的记载。在2021年第四季度,他们以回购和股息的方式向股东返还了惊人的94%的自在现金流,这不是你常常从大型半导体公司听到的。
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